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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Structure and mechanical properties of a-C:H films deposited on a three-dimensional target: Comparative study on target scale and aspect ratio 
著者
和文: 平田 祐樹, 崔 埈豪.  
英文: Y Hirata, J Choi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Journal of Physics D: Applied Physics 
巻, 号, ページ        
出版年月 2017年3月 
出版者
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会議名称
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開催地
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