Analysis of microstructure and surface morphology of a-C:H films deposited on a trench target

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Analysis of microstructure and surface morphology of a-C:H films deposited on a trench target

著者

和文:	平田祐樹, Takumi Ishikawa, 崔埈豪, Shinya Sasaki.
英文:	Yuki Hirata, Takumi Ishikawa, Junho Choi, Shinya Sasaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Diamond & Related Materials

巻, 号, ページ

Vol. 83

出版年月

2018年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: