Structural and Mechanical Properties of Amorphous Carbon Films Deposited on the Micro-trench Patterns by Bipolar PBII and Plasma Analysis

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Structural and Mechanical Properties of Amorphous Carbon Films Deposited on the Micro-trench Patterns by Bipolar PBII and Plasma Analysis

著者

和文:	平田祐樹, 崔埈豪.
英文:	Yuki Hirata, Junho Choi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of International Tribology Conference, Tokyo 2015

巻, 号, ページ

出版年月

2015年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Tribology Conference, Tokyo 2015

開催地

和文:
英文:	Tokyo