Amorphous Carbon Film as a Mold Release Layer for Nanoimprint Lithography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Amorphous Carbon Film as a Mold Release Layer for Nanoimprint Lithography

著者

和文:	平田祐樹, Yuya Nakahara, Keisuke Nagato, 加藤孝久, 崔埈豪.
英文:	Yuki Hirata, Yuya Nakahara, Keisuke Nagato, Takahisa Kato, Junho Choi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of International Tribology Conference, Tokyo 2015

巻, 号, ページ

出版年月

2015年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Tribology Conference, Tokyo 2015

開催地

和文:
英文:	Tokyo

受賞情報

Best Poster Award & Taiho Encouraging Award for Young Tribologists