DLC coating on a trench-shaped target by bipolar PBII

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	DLC coating on a trench-shaped target by bipolar PBII

著者

和文:	平田祐樹, 加藤孝久, 崔埈豪.
英文:	Yuki Hirata, Takahisa Kato, Junho Choi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 10th International Conference on the Science of Hard Materials

巻, 号, ページ

出版年月

2014年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	10th International Conference on the Science of Hard Materials

開催地

和文:	Cancun
英文: