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論文・著書情報


タイトル
和文:バイポーラPBII 法によるマイクロトレンチへのDLC コーティング 
英文: 
著者
和文: 平田祐樹, 朴元淳, 下園隼人, 崔埈豪, 加藤孝久.  
英文: Yuki Hirata, 朴元淳, 下園隼人, Junho Choi, Takahisa Kato.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第5 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年11月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第5 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 
英文: 
開催地
和文:宮城 
英文: 

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