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論文・著書情報


タイトル
和文:プラズマシミュレーションによるマイクロトレンチ形状物への三次元DLC コーティング解析 
英文: 
著者
和文: 朴元淳, 平田祐樹, 崔埈豪, 加藤孝久.  
英文: 朴元淳, Yuki Hirata, Junho Choi, Takahisa Kato.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:トライボロジー会議2013春 東京 講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年5月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:トライボロジー会議2013春 東京 
英文: 
開催地
和文:東京都 
英文: 

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