DEPENDENCE ON PRECURSOR GAS ON THE a-C:H FILM  PROPERTIES DEPOSITED ON A TRENCH TARGET

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	DEPENDENCE ON PRECURSOR GAS ON THE a-C:H FILM PROPERTIES DEPOSITED ON A TRENCH TARGET

著者

和文:	平田祐樹, Kanju Kitamura, Shinya Sasaki, 崔埈豪.
英文:	Yuki Hirata, Kanju Kitamura, Shinya Sasaki, Junho Choi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of XXVI International Materials Research Congress

巻, 号, ページ

出版年月

2017年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	XXVI International Materials Research Congress

開催地

和文:
英文:	Cancun