Effect of Ar+ Ion Assist on the Properties of a-C:H Films Deposited on a Trench

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Ar+ Ion Assist on the Properties of a-C:H Films Deposited on a Trench

著者

和文:	平田祐樹, Koeki Onishi, Shinya Sasaki, 崔埈豪.
英文:	Yuki Hirata, Koeki Onishi, Shinya Sasaki, Junho Choi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of Pacific Rim Symposium on Surfaces, Coatings and Interfaces 2016

巻, 号, ページ

出版年月

2016年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Pacific Rim Symposium on Surfaces, Coatings and Interfaces 2016

開催地

和文:
英文:	Hawaii