【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて
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タイトル
和文:
バイポーラPBII 法によるトレンチ形状物へのDLCコーティング―膜の構造および機械的特性評価
英文:
著者
和文:
平田祐樹
, 大西弘益,
加藤孝久
,
崔埈豪
.
英文:
Yuki Hirata
, 大西弘益,
Takahisa Kato
,
Junho Choi
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
第54 回真空に関する連合講演会 予稿集
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2013年11月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
第54 回真空に関する連合講演会
英文:
開催地
和文:
茨城県
英文:
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