DLC coating on a micro-trench using bipolar PBII

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	DLC coating on a micro-trench using bipolar PBII

著者

和文:	崔埈豪, Hideyuki Tokioka, Wonsoon Park, 平田祐樹, 加藤孝久.
英文:	Junho Choi, Hideyuki Tokioka, Wonsoon Park, Yuki Hirata, Takahisa Kato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of Collaborative Conference on Materials Research 2013

巻, 号, ページ

出版年月

2013年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Collaborative Conference on Materials Research 2013

開催地

和文:
英文:	Jeju island