マスク位置ずれに対する耐性を持つLELECUTトリプルパターニングのためのマスク割り当て手法

論文・著書情報

タイトル

和文:	マスク位置ずれに対する耐性を持つLELECUTトリプルパターニングのためのマスク割り当て手法
英文:	Mask Assignment with Tolerance for Misalignment in LELECUT Triple Patterning

著者

和文:	小平行秀, 児玉親亮, 松井知己, 高橋篤司, 野嶋茂樹, 田中聡.
英文:	Yukihide Kohira, Chikaaki Kodama, Tomomi Matsui, Atsushi Takahashi, Shigeki Nojima, Satoshi Tanaka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	次世代リソグラフィワークショップ予稿集 (NGL2015)
英文:	Collection of Abstracts, NGL 2015

巻, 号, ページ

pp. 35-36

出版年月

2015年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: