Evaluation of system for estimating sheet resistance using DFFC

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Evaluation of system for estimating sheet resistance using DFFC

著者

和文:	Toshihide Tosaka, 西方敦博, Kaori Fukunaga, Yukio Yamanaka.
英文:	Toshihide Tosaka, Atsuhiro Nishikata, Kaori Fukunaga, Yukio Yamanaka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Xplore

巻, 号, ページ

pp. 81 - 84

出版年月

2010年11月15日

出版者

和文:
英文:	IEEE

会議名称

和文:
英文:	2010 URSI International Symposium on Electromagnetic Theory

開催地

和文:
英文:	Berlin