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論文・著書情報


タイトル
和文:Al(CH3)3とO2を用いたMOCVD 法によるAl2O3製膜に及ぼすH2添加の影響 
英文: 
著者
和文: 林 俊甫, 西山昭雄, 塩田忠, 安田公 一, 篠崎和夫.  
英文: Morgan Lin, Akio Nishiyama, Tadashi SHIOTA, KOUICHI YASUDA, KAZUO SHINOZAKI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本セラミックス協会2018年年会要旨集 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2018年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:日本セラミックス協会2018年年会 
英文: 
開催地
和文:宮城県 
英文: 

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