High-Resolution MEMS Accelerometer by Multi-Layer Metal Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High-Resolution MEMS Accelerometer by Multi-Layer Metal Technology

著者

和文:	山根大輔, 町田克之, 伊藤浩之, 益一哉.
英文:	Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Hiroyuki Ito, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年9月3日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Taiwan-Japan-US Joint Workshop on Energy Materials and Sustainable Development

開催地

和文:
英文:	Hsinchu