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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタリング法による{100}配向Y2O3-HfO2強誘電体エピタキシャル薄膜の作製とその評価 
英文: 
著者
和文: 鈴木大生, 三村和仙, 清水荘雄, 内田寛, 舟窪浩.  
英文: Taisei Suzuki, Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Uchida, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2017年9月5日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第78回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:福岡市 
英文: 

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