MEMS加速度センサに向けた金めっき微小カンチレバーのヤング率 に関する検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS加速度センサに向けた金めっき微小カンチレバーのヤング率に関する検討
英文:	A Study on Young’s Modulus of Micro-Cantilevers Fabricated by Au Electroplating for MEMS Accelerometers

著者

和文:	中島英亮, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 年吉洋, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Hideaki Nakajima, Tso-Fu Mark Chang, Chun Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第79回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第79回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:	名古屋
英文: