エピタキシャル成長したHfO2 基強誘電体膜における結晶構造の膜厚依存性

論文・著書情報

タイトル

和文:	エピタキシャル成長したHfO2 基強誘電体膜における結晶構造の膜厚依存性
英文:

著者

和文:	三村和仙, 清水荘雄, 木口賢紀, 赤間章裕, 今野豊彦, 勝矢良雄, 坂田修身, 舟窪浩.
英文:	Takanori Mimura, Takao Shimizu, Takanori Kiguchi, 赤間章裕, Toyohiko Konno, Yoshio Katsuya, Osami Sakata, HIROSHI FUNAKUBO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年3月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本セラミックス協会 2018年年会
英文:

開催地

和文:	仙台市
英文: