Separately contacted monocrystalline silicon double-layer structure with an amorphous silicon dioxide barrier made by wafer bonding

論文・著書情報

タイトル

和文:	Separately contacted monocrystalline silicon double-layer structure with an amorphous silicon dioxide barrier made by wafer bonding
英文:	Separately contacted monocrystalline silicon double-layer structure with an amorphous silicon dioxide barrier made by wafer bonding

著者

和文:	Takashina, K., Nagase, M., Nishiguchi, K., Ono, Y., Omi, H., Fujiwara, A., Fujisawa, T., Muraki, K., 藤澤利正.
英文:	Takashina, K., Nagase, M., Nishiguchi, K., Ono, Y., Omi, H., Fujiwara, A., Fujisawa, T., Muraki, K., Toshimasa Fujisawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Semiconductor Science and Technology
英文:	Semiconductor Science and Technology

巻, 号, ページ

Vol. 25 No. 12

出版年月

2010年

出版者

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会議名称

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開催地

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