Summary of Research on Carbon Plasmas for Ion Beam Stripping at TIT

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Summary of Research on Carbon Plasmas for Ion Beam Stripping at TIT

著者

和文:	U. Neuner, 小川雅生, 中島充夫, 堀岡一彦, 小栗慶之, 滝沢成行, 山内知.
英文:	U. Neuner, masao ogawa, MITSUO NAKAJIMA, KAZUHIKO HORIOKA, YOSHIYUKI OGURI, 滝沢成行, 山内知.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	日本物理学会第52回年会講演概要集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 4 p. 868

出版年月

1997年3月28日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	日本物理学会第52回年会
英文:

開催地

和文:
英文: