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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:A Novel Tri-Axis MEMS Accelerometer with a Single Au Proof Mass and Fully Differential Sensing Electrodes 
著者
和文: 新島宏文, 高安基大, 山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉.  
英文: Hirofumi Niijima, Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2017年11月6日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:The 30th International Microprocesses and Nanotechnology Conference 
開催地
和文: 
英文:Jeju 

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