Multi-Layered MoS2 Thin Film Formed by High-Temperature Sputtering for Enhancement-Mode nMOSFETs

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Multi-Layered MoS2 Thin Film Formed by High-Temperature Sputtering for Enhancement-Mode nMOSFETs

著者

和文:	大橋匠, K. Suda, S. Ishihara, N. Sawamoto, S. Yamaguchi, 松浦賢太朗, 角嶋邦之, 杉井信之, 西山彰, 片岡好則, 名取研二, 筒井一生, 岩井洋, A. Ogura, 若林整.
英文:	T. Ohashi, K. Suda, S. Ishihara, N. Sawamoto, S. Yamaguchi, K. Matsuura, K. Kakushima, N. Sugii, A. Nishiyama, Y. Kataoka, K. Natori, K. Tsutsui, H. Iwai, A. Ogura, Hitoshi Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Extended Abstracts of the 2014 International Conference on Solid State Devices and Materials

巻, 号, ページ

1074

出版年月

2014年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Conference on Solid State Devices and Materials

開催地

和文:
英文: