Effects of deposition condition of a-BCN:H films from tri-methyl-borazine on true densities

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of deposition condition of a-BCN:H films from tri-methyl-borazine on true densities

著者

和文:	松原沙彩, Tetsuya Yamamoto, 平田祐樹, 大竹尚登, 赤坂大樹.
英文:	Saaya Matsubara, Tetsuya Yamamoto, Yuki Hirata, Naoto Ohtake, Hiroki Akasaka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Program of The 5th Asian Symposium on Materials and Processing(ASMP2018)

巻, 号, ページ

出版年月

2018年12月7日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 5th Asian Symposium on Materials and Processing(ASMP2018)

開催地

和文:
英文:	Bangkok