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論文・著書情報


タイトル
和文:真空/絶縁体ハイブリッドアイソレーションを用いた薄膜π型μTEGの設計と性能 
英文: 
著者
和文: 清野稔仁, 山下涼音, 千脇那菜, 菅原聡.  
英文: Toshimasa Seino, Suzune Yamashita, Nana Chiwaki, SATOSHI SUGAHARA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2018年3月17日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第65回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:新宿 
英文: 

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