EVALUATION OF STRUCTURAL AND MECHANICAL PROPERTIES OF 3-DIMENSIONALY COATED a-C:H FILMS

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	EVALUATION OF STRUCTURAL AND MECHANICAL PROPERTIES OF 3-DIMENSIONALY COATED a-C:H FILMS

著者

和文:	平田祐樹, Takumi Ishikawa, 崔埈豪.
英文:	Yuki Hirata, Takumi Ishikawa, Junho Choi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Program of The 5th Asian Symposium on Materials and Processing(ASMP2018)

巻, 号, ページ

出版年月

2018年12月7日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 5th Asian Symposium on Materials and Processing(ASMP2018)

開催地

和文:
英文:	Bangkok