大気圧プラズマを用いた表面処理における プラズマガス温度およびガス種の影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	大気圧プラズマを用いた表面処理におけるプラズマガス温度およびガス種の影響
英文:	Influence of plasma gas temperature and gas species on surface treatment using atmospheric pressure plasma

著者

和文:	守屋翔平, 飯島勇介, 末永祐磨, 渡辺駿介, 宮原秀一, 佐藤千明, 沖野晃俊.
英文:	Shohei Moriya, Yusuke Iijima, Yuma Suenaga, Shunsuke Watanabe, Hidekazu Miyahara, Chiaki Sato, AKITOSHI OKINO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年9月20日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第79回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:	名古屋
英文:	Nagoya