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論文・著書情報


タイトル
和文:物理気相成長法を用いたa-BCN膜の作製と評価 
英文: 
著者
和文: 竹内亮大郎, 岩本喜直, 河越雅雄, 谷口紘章, 平田祐樹, 赤坂大樹, 大竹尚登.  
英文: Ryotaro Takeuchi, Yoshinao Iwamoto, Masao Kawagoe, Hiroyuki Taniguchi, Yuki Hirata, Hiroki Akasaka, NAOTO OHTAKE.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2019年度精密工学会春季大会公演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 151-152
出版年月 2019年3月13日 
出版者
和文:精密工学会 
英文: 
会議名称
和文:2019年度精密工学会春季大会 
英文: 
開催地
和文:東京 
英文: 

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