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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Strengthening of Micro-Cantilever by Au/Ti Bi-Layered Structure Evaluated by Micro-Bending Test toward MEMS Devices 
著者
和文: Hashigata Ken, TangHao-Chun, Chang Tso-Fu Mark, 陳 君怡, 山根 大輔, 小西 敏文, 伊藤 浩之, 町田 克之, 益 一哉, 曽根 正人.  
英文: Ken Hashigata, Hao-Chun Tang, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Microelectronic Engineering 
巻, 号, ページ Vol. 213        pp. 13-17
出版年月 2019年5月15日 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.1016/j.mee.2019.04.008

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