カソード加熱型RIE装置により窒素プラズマ処理したTi薄膜およびバルクTiO2の透過率測定

論文・著書情報

タイトル

和文:	カソード加熱型RIE装置により窒素プラズマ処理したTi薄膜およびバルクTiO2の透過率測定
英文:

著者

和文:	長谷部浩一, 佐藤美那, 松谷晃宏, 竹島利彦, 磯部敏宏, 中島章, 松下祥子.
英文:	KOICHI HASEBE, Mina Sato, Akihiro Matsutani, Toshihiko Takeshima, Toshihiro Isobe, Akira Nakajima, Sachiko Matsushita.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

11p-PA2-9

出版年月

2019年3月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第66回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

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