Mechanism for High Hall-Effect Mobility in Sputtered-MoS2 Film Controlling Particle Energy

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Mechanism for High Hall-Effect Mobility in Sputtered-MoS2 Film Controlling Particle Energy

著者

和文:	T. Sakamoto, 大橋匠, 松浦賢太朗, 宗田伊理也, 角嶋邦之, 筒井一生, Y. Suzuki, 五十嵐信行, 若林整.
英文:	T. Sakamoto, T. Ohashi, K. Matsuura, I. Muneta, K. Kakushima, K. Tsutsui, Y. Suzuki, N. Ikarashi, H. Wakabayashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE SOI-3D-Subthreshold Microelectronics Technology Unified Conference (S3S)

開催地

和文:
英文:	Burlingame, CA

DOI