Annealing temperature dependence of alloy contact for N-polar GaN HEMT structure

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Annealing temperature dependence of alloy contact for N-polar GaN HEMT structure

著者

和文:	堀田航史, 富塚ゆみ子, 板垣光祐, I. Makabe, S. Yoshida, 宮本恭幸.
英文:	K. Hotta, Y. Tomizuka, K. Itagaki, I. Makabe, S. Yoshida, Y. Miyamoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys

巻, 号, ページ

58, (2019) SC SCCD14

出版年月

2019年5月20日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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