【重要】T2R2・STARSearchの停止と後継システムについて
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論文・著書情報
タイトル
和文:
混晶化によるPtSiのコンタクト抵抗低減に関する検討
英文:
著者
和文:
大見俊一郎
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英文:
Shun-ichiro OHMI
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス
英文:
巻, 号, ページ
Vol. 111 No. 249 pp. 59-62
出版年月
2011年10月13日
出版者
和文:
一般社団法人電子情報通信学会
英文:
会議名称
和文:
英文:
開催地
和文:
英文:
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