Hafnium-nitride gate insulator formed by electron-cyclotron-resonance plasma sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Hafnium-nitride gate insulator formed by electron-cyclotron-resonance plasma sputtering

著者

和文:	Han, Huiseong, 大見俊一郎.
英文:	Han, Huiseong, Shun-ichiro OHMI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEICE ELECTRONICS EXPRESS

巻, 号, ページ

Vol. 9 No. 16 pp. 1329-1334

出版年月

2012年

出版者

和文:
英文:	IEICE-INST ELECTRONICS INFORMATION COMMUNICATIONS ENG

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI