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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Epitaxial ferroelectric Y-doped HfO2 film grown by the RF magnetron sputtering 
著者
和文: 鈴木 大生, 清水 荘雄, 三村 和仙, 内田 寛, 舟窪 浩.  
英文: Taisei Suzuki, Takao Shimizu, Takanori Mimura, Hiroshi Uchida, Hiroshi Funakubo.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn. J. Appl. Phys. 
巻, 号, ページ Vol. 57        pp. 11UF15-1-4
出版年月 2018年10月 
出版者
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.7567/JJAP.57.11UF15

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