高周波強力超音波トランスデューサ用圧電結晶膜の製膜 とその評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	高周波強力超音波トランスデューサ用圧電結晶膜の製膜とその評価
英文:	Deposition of epitaxial piezoelectric films for high intensity and high frequency ultrasonic transducers

著者

和文:	石河睦生, 内田庸助, 塚本絢穂, 齋藤直, 遠藤聡人, 安井伸太郎, 田原麻梨江, 舟窪浩, 黒澤実.
英文:	Mutsuo Ishikawa, 内田庸助, Ayaho Tsukamoto, 齋藤直, 遠藤聡人, Shintaro Yasui, Marie Tabaru, HIROSHI FUNAKUBO, Minoru Kuribayashi Kurosawa.

言語

Japanese

掲載誌/書名

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巻, 号, ページ

出版年月

2019年9月

出版者

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会議名称

和文:	第80回応用物理学会秋季学術講演会 (18p-PA3-3)
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開催地

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