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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Growth of epitaxial Y2O3-doped ferroelectric HfO2 films by sputtering method and their characterization 
著者
和文: Taisei Suzkuki, 三村 和仙, 清水 荘雄, 内田 寛, 舟窪 浩.  
英文: Taisei Suzkuki, Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Uchida, Hiroshi Funakubo.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2018年9月9日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:SSDM 2018 (2018 International Conference on Solid State Devices and Materials) 
開催地
和文: 
英文:Tokyo 

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