S T E M - E E L S 法による直方晶相ハフニア薄膜の結晶構造評価 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	S T E M - E E L S 法による直方晶相ハフニア薄膜の結晶構造評価
英文:

著者

和文:	木口賢紀, 白石貴久, 三村和仙, 清水荘雄, 舟窪浩, 今野豊彦.
英文:	Takanori Kiguchi, Takahisa Shiraishi, Takanori Mimura, Takao Shimizu, HIROSHI FUNAKUBO, Toyohiko Konno.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年9月18日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第79回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:	名古屋市
英文:

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