A time-multiplexed electrostatic drive and sample interface circuit for MEMS optical scanners

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A time-multiplexed electrostatic drive and sample interface circuit for MEMS optical scanners

著者

和文:	Maruyama, S., Konishi, T., 町田克之, Ishihara, N., 益一哉, Fujita, H., Toshiyoshi, H..
英文:	Maruyama, S., Konishi, T., Katsuyuki Machida, Ishihara, N., Kazuya Masu, Fujita, H., Toshiyoshi, H..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics

巻, 号, ページ

pp. 21-22

出版年月

2013年

出版者

和文:
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会議名称

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英文:

開催地

和文:
英文:

DOI