アモルファス炭素膜の熱分解挙動と構造変化の均一性

論文・著書情報

タイトル

和文:	アモルファス炭素膜の熱分解挙動と構造変化の均一性
英文:

著者

和文:	赤坂大樹, Sarayut Tunmee, Chanan Euaruksakun, Ukit Rittihong, Ratchadaporn Supruangnet, 平田祐樹, 大竹尚登.
英文:	Hiroki Akasaka, Sarayut Tunmee, Chanan Euaruksakun, Ukit Rittihong, Ratchadaporn Supruangnet, Yuki Hirata, NAOTO OHTAKE.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年3月9日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	2019年第66回応用物理学会春季学術講演会
英文:	JSAP Spring Meeting 2019

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo