Deposition of a-C:H Film on Inner Surface of the Tube by Nanopulse Plasma CVD and Analysis of Plasma Behavior

論文・著書情報

タイトル

和文:	Deposition of a-C:H Film on Inner Surface of the Tube by Nanopulse Plasma CVD and Analysis of Plasma Behavior
英文:	Deposition of a-C:H Film on Inner Surface of the Tube by Nanopulse Plasma CVD and Analysis of Plasma Behavior

著者

和文:	平田祐樹, 竹波慶大郎, Ryouta Takamura, 岩本喜直, 赤坂大樹, 大竹尚登.
英文:	Yuki Hirata, Keitaro Takenami, Ryouta Takamura, Yoshinao Iwamoto, Hiroki Akasaka, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年6月17日

出版者

和文:
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会議名称

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英文:	3rd International Conference on Applied Surface Science

開催地

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英文:	Pisa