Effect of precursor gas on the structure and mechanical properties of hydrogenated amorphous carbon films deposited on a trench sidewall

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of precursor gas on the structure and mechanical properties of hydrogenated amorphous carbon films deposited on a trench sidewall

著者

和文:	平田祐樹, Kanju Kitamura, Takumi Ishikawa, 崔埈豪.
英文:	Yuki Hirata, Kanju Kitamura, Takumi Ishikawa, Junho Choi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

No. 125

出版年月

2019年1月29日

出版者

和文:
英文:	AIP

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: