アーク蒸着とマグネトロンスパッタリングを重畳した気相成長法により作製したα-BCN膜の評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	アーク蒸着とマグネトロンスパッタリングを重畳した気相成長法により作製したα-BCN膜の評価
英文:

著者

和文:	竹内亮大郎, 岩本喜直, 河越雅雄, 谷口紘章, 平田祐樹, 赤坂大樹, 大竹尚登.
英文:	Ryotaro Takeuchi, Yoshinao Iwamoto, Masao Kawagoe, Hiroyuki Taniguchi, Yuki Hirata, Hiroki Akasaka, NAOTO OHTAKE.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第33回ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 34-35

出版年月

2019年11月13日

出版者

和文:	一般社団法人ニューダイヤモンドフォーラム
英文:

会議名称

和文:	第33回ダイヤモンドシンポジウム
英文:

開催地

和文:	東京
英文: