Silicon doping and N2 ambient annealing effects on Zn3N2 thin film transistors

論文・著書情報

タイトル

和文:	Silicon doping and N2 ambient annealing effects on Zn3N2 thin film transistors
英文:	Silicon doping and N2 ambient annealing effects on Zn3N2 thin film transistors

著者

和文:	Kaiwen Li, Keisuke Ide, Takayoshi Katase, Toshio Kamiya, Dong Lin, Jinhua Ren, Qun Zhang.
英文:	Kaiwen Li, Keisuke Ide, Takayoshi Katase, Toshio Kamiya, Dong Lin, Jinhua Ren, Qun Zhang.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年11月8日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	薄膜材料デバイス研究会第16回研究集会「新時代に向けた薄膜材料のデバイス技術」
英文:	薄膜材料デバイス研究会第16回研究集会「新時代に向けた薄膜材料のデバイス技術」

開催地

和文:
英文: