TFT応用に向けたRFマグネトロンスパッタリング法によるMoS₂膜の形成

論文・著書情報

タイトル

和文:	TFT応用に向けたRFマグネトロンスパッタリング法によるMoS₂膜の形成
英文:

著者

和文:	大橋匠, 松浦賢太朗, 石原聖也, 日比野祐介, 澤本直美, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整.
英文:	Takumi Ohashi, 松浦賢太朗, 石原聖也, 日比野祐介, 澤本直美, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 116 No. 118 pp. 75-78

出版年月

2016年6月29日

出版者

和文:	電子情報通信学会
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: