低圧プラズマプロセスによる細菌細胞の分解と細菌細胞を用いた半導体のドライエッチング | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	低圧プラズマプロセスによる細菌細胞の分解と細菌細胞を用いた半導体のドライエッチング
英文:

著者

和文:	松谷晃宏, 高田綾子.
英文:	Akihiro Matsutani, 高田綾子.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2011 No. 71 pp. 5-8

出版年月

2011年12月15日

出版者

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会議名称

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開催地

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