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論文・著書情報


タイトル
和文:薄膜トランスバース型μTEGモジュールの最適構造における層間絶縁材料の影響”，第80回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
著者
和文: 遠藤弘之, 熊谷颯人, 塩津勇作, 菅原聡.  
英文: Hiroyuki Endou, Hayato Kumagai, Yusaku Shiotsu, SATOSHI SUGAHARA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2019年9月18日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第80回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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