バーチャル表面粗さ計を用いた表面粗さ測定における不確かさの見積り —触針の弾性接触と相互作用に関する研究— | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	バーチャル表面粗さ計を用いた表面粗さ測定における不確かさの見積り —触針の弾性接触と相互作用に関する研究—
英文:

著者

和文:	原精一郎, 林朋弘, 笹島和幸.
英文:	Seiichiro Hara, Tomohiro Hayashi, KAZUYUKI SASAJIMA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会春期大会学術講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2015年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	精密工学会春期大会学術講演会
英文:

開催地

和文:
英文:

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