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論文・著書情報


タイトル
和文:バーチャル表面粗さ計を用いた表面粗さ測定における不確かさの見積り —触針の弾性接触と相互作用に関する研究— 
英文: 
著者
和文: 原 精一郎, 林 朋弘, 笹島 和幸.  
英文: Seiichiro Hara, Tomohiro Hayashi, KAZUYUKI SASAJIMA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:精密工学会春期大会学術講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2015年3月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:精密工学会春期大会学術講演会 
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開催地
和文: 
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