Thickness-dependent crystal structure of epitaxial ferroelectric 0.07YO1.5-0.93HfO2 and HZO films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thickness-dependent crystal structure of epitaxial ferroelectric 0.07YO1.5-0.93HfO2 and HZO films

著者

和文:	三村和仙, 清水荘雄, 舟窪浩.
英文:	Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年8月11日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	ISIF 2019 (7th International Symposium on Intagrated Functionalities)

開催地

和文:
英文:	Dublin