Good Step Coverage of Iridium Metal Films by Spray CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Good Step Coverage of Iridium Metal Films by Spray CVD

著者

和文:	河野和久, Yoshiyuki Seki, Yutaka Sawada, 舟窪浩, Noriaki Oshima.
英文:	Kazuhisa Kawano, Yoshiyuki Seki, Yutaka Sawada, Hiroshi Funakubo, Noriaki Oshima.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2019年12月1日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2019 MRS Fall Meeting & Exhibit

開催地

和文:
英文:	Boston