High-quality InP/SOI heterogeneous material integration by room temperature surface-activated bonding for hybrid photonic devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High-quality InP/SOI heterogeneous material integration by room temperature surface-activated bonding for hybrid photonic devices

著者

和文:	王雨寧, 永坂久美, 御手洗拓矢, 大礒義孝, 雨宮智宏, 西山伸彦.
英文:	Yuning Wang, Kumi Nagasaka, Takuya Mitarai, Yoshitaka Oiso, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 59 No. 5 p. 052004

出版年月

2020年4月23日

出版者

和文:
英文:	Japanese Applied Physics Society

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

公式リンク

DOI